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Advanced Waferhandling Solutions

Willkommen bei Adenso´s Business Unit Waferhandling, Ihrem professionellen Partner für Ihre individuellen Anforderungen.

 

Wir entwickeln innovative und einzigartige Lösungen für das Substrathandling im Vakuum und in Glovebox-Systemen.
Ideen entwickeln und umsetzen - alles was wir unternehmen, tun wir ganz nah an dern Bedürfnissen und Wünschen unserer Geschäftspartner.

Videos:

     Advanced Substrate Handling Solutions for vacuum and glovebox environments: Adenso Wafer Handling Robots

 

     Adenso Waferhandling Solutions - presenting the ULTRA LARGE travel range type at Semicon

 

Adenso WHR Wafer Handling Robots sind verfügbar in folgenden Ausführungen:

LARGE   Geeignet für alle Anwendungen im Vakuum und in Gloveboxen mit hohen Anforderungen an Reichweite und Tragfähigkeit.

 


EXTRA LARGE
   Anwendungen mit erhöhten Anforderungen an die Reichweite.

 


ULTRA LARGE
   Bis zu 3-facher Reichweite gegenüber bekannten Lösungen.

 

 

 

5 Gründe für Adenso Wafer Handling Robots:

 

1. REICHWEITE

Eine beschränkte Reichweite schränkt die Gestaltung der Prozessbereiche ein.
Adenso-Lösung: Größte Reichweiten = maximale Flexibilität!


2. TRAGFÄHIGKEIT

Eine eng begrenzte Tragfähigkeit beschränkt Reichweite und Substratauswahl und führt zu Prozessunsicherheiten.
Adenso-Lösung: Höchste Tragfähigkeit = unbegrenzte Substratauswahl!

3. SCHLEUSENVENTILE

Überdimensionierte Schleusenventile verursachen hohe Investmentkosten sowie hohe Betriebskosten durch große Volumina.
Adenso-Lösung: Schlanke Kinematik = kleinste Schleusenventile!


4. AUFSTELLFLÄCHE

Reinraumfläche ist teuer.
Adenso-Lösung: Platzsparende Kinematik = minimale Aufstellfläche!

 

5. KOMPLEXITÄT

Aufwendige Kinematik aus dem Atmosphärenbereich ist im Vakuum unvorteilhaft.
Adenso-Lösung: Einfacher Aufbau = Einsparung von Invest- und Betriebskosten!

 

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