WHM

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Wafer Handling Module

 

Handlingmodul mit integriertem WHR-VAC Wafer Handling Robot optimiert für das Handling von Substratcarriern im Hochvakuum.

Die Anzahl an Prozess-Stationen wird kundenspezifisch ausgelegt von minimal 4 bis mehr als 8 Loadports.

 

 

 WHM-VAC Wafer Handling Module

 Handlingmodul bestehend aus einer zentralen Vakuumkammer
 mit integrierterm Wafer Handling Robot WHR-VAC.

 Adenso_Wafer_Handling_Robot
Video

 WHM-VAC - 4 PS

 Modul mit bis zu 4 Prozess-Stationen.

 WHM-VAC - 6 PS

 Modul mit bis zu 6 Prozess-Stationen.

 WHM-VAC - 8 PS

 Modul mit bis zu 8 Prozess-Stationen.


 

 DTS 200 / 300 / 450 - Device Test System

 Hevorragend geeignet für 200 / 300 / 450mm Wafer in Kombination mit
 allen Arten von Testanwendungen in Schutzgasatmosphäre (Glovebox),
 z.B. SURAGUS non-contact inline measurement solution
 für Schitchtwiderstand [Ohm/sq] und Metalschicht-Dicke [nm, µm].

 DTS_Device_Test_System

 DTS special / glovebox

 Anwendungen mit speziellen Substraten wie z.B. rechteckigen Glasplatten.
 Kundenspezifische KASSETTEN-LIFTE.
 Glovebox-Integration als standard.

 DTS_Device_Test_System

 WHM-VAC - YOUR PROJECT

 Ihre Prozessidee...

 

 

 

     
Subsrate   Wafer bis 450mm
     
Materialien   Silizium, Keramik, Gläser, ...
     
     

Ihr Business:

Forschung und Produktion:

  • Materialforschung
  • Schichtentwicklung
  • Halbleiter
  • Sensorik
  • Optik