LLM

LLM

LLM

Load Lock Module

 

Ausgehend von einer Vielzahl an erfolgreichen Projekten und getrieben von denständigen Kundenforderungen nach Qualitäts- und Produktivitätssteigerung bei gleichzeitiger Kostensenkung sowie einem Blick für Nischen und Marktlücken entwickelt die Adenso permanent eingene Produkte und Speziallösungen:

 

 LLM - Load Lock Module - Automatikversion

 Kassettenmodul zur Aufnahme von Substratcarriern für die Adaption an das Handlingmodul WHM-VAC.
 Kapazitäten ab 5 STK. bis mehr als 20 STK.
 Carrier-Gewichte von mehr als 10kg pro Carrier möglich!

Adenso_Wafer_Handling_Robot Video

 LLM - Load Lock Module - manuelle Version

 Load Lock - Kammer zur manuellen Anlagenbeschickung,
 vorbereitet zur Adaption an das Handlingmodul WHM-VAC.

 LMS - Load Lock - Mapping

 Sensorbasiertes system welches ein Scannen der eingelegten Carrier-Kassetten ermöglicht.

 SCC - Substrate Carrier Cassette

 Kassette zur Aufnahme mehrerer Carrier, optimiert für den Einsatz des WHR-VAC Wafer Handling Robot.

 SCS - Substrate Carrier System - Standard

 Kundenspezifische Carrier zur Aufnahme von Substraten.

 SCS - Substrate Carrier System - in-situ

 Kundenspezifische Carrier mit integrierter Meßtechnik.

 SCS - Substrate Carrier System - ACTIVE

 Kundenspezifische Carrier mit integrierten Heizelementen.