WHR

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Wafer Handling Robot

 

Der WHR-VAC Wafer Handling Robot ist optimiert für höchste Tragfähigkeit und große Reichweiten.

Die einfache Armgeometrie erlaubt kleine Gateventile und kompakte Handlerschwenkbereiche.

Für Handlingaufgaben von sensiblen und großfächigen Substraten wie Gläser, FPD Flat Panel Display...

### GLOVE BOX - Version verfügbar ###
### Voll-Edelstahlausführung verfügbar ###

 

 
 WHR - BASIS - AUSFÜHRUNGEN

                                    WHR_ULTRA  

 WHR - LARGE

 Geeignet für alle Anwendungen im Vakuum und in Gloveboxen
 mit hohen Anforderungen an Reichweite und Tragfähigkeit.

   

 WHR - EXTRA LARGE

 Anwendungen mit erhöhten Anforderungen an die Reichweite.

 Beispiel:  TRIAX-Modul im SCOUT 300triax der Firma Ortner Dresden.

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 WHR - ULTRA LARGE

 Bis zu 3-facher Reichweite gegenüber bekannten Lösungen.

 Beispiel: 
 DTS Device Test System für Wafer 100/200/300/450mm,
 geeignet für Hochvakuum und Glovebox-Schutzgas-Umgebungen.

 

Detailvarianten:

 

 WHR-VAC Wafer Handling Robot    -    VAKUUM

 Wafer Handling Robot für höchste Tragfähigkeit + Präzision im Vakuum.

 Substrate: Wafer, Carrier, Glas-Substrate, FPD Flat Panel Display, PCB, ....

Adenso_Wafer_Handling_Robot Video

 WHR Wafer Handling Robot     -     ATMOSPHÄRE

 Wafer Handling Robot für höchste Tragfähigkeit + Präzision an Atmosphäre
 und in abgeschirmten Umgebungen (Glove Box).

  Substrate: Wafer, Carrier, Glas-Substrate, FPD Flat Panel Display, PCB, ....

   

 WHR-VAC - SONDER

 - Volledelstahlausführung (vakuumseitig)
 - extralange X-Bewegungsbereiche (SE - STROKE EXTENSION)
 - hohe Lasten
 
 > Kundenspezifische Ausführungen des Handling Robots - sprechen Sie uns an!

Adenso_Wafer_Handling_Robot Video

 WHR-VAC - ULTRA HIGH LOAD VERSION

 Schwerlastausführung für Aktiv-Carrier-Systeme bis zu 250kg Tragfähigkeit.

 WHR-VAC - Grundmodul

 Grundmodul als OEM-Produkt für die Integration in Ihre Anwendung.

 WHR-VAC - X-AXIS

 Kundenspezifisch ausgelegte X-Achse (innerhalb Vakuum).
 Hubbereich angepasst an die Handlingaufgabe.
 Volledelstahlausführung verfügbar.
 Adaption für EE Endeffektoren

 

 WHR-EE - Endeffektor

 Endeffektoren, ausgelegt für die aufgabenspezifischen Substratcarrier.
 Alle Geometrien. Alle Materialien.

 

 

 

     
Subsrate   Wafer bis 450mm
     
Materialien   Silizium, Keramik, Gläser, ...
     
     

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